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簡(jiǎn)單介紹：

TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI（磚利技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測(cè)分析并生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告

詳情介紹：

英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀： CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI（磚利技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測(cè)分析并生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告；

英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀：

1. 減震基座及立柱：

鑄鋁基座：結(jié)合氣浮減震,提高測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)精度

鋼結(jié)構(gòu)立柱：提高測(cè)量回路的堅(jiān)固性和穩(wěn)定性,降低外部震動(dòng)影響

2. 系統(tǒng)參數(shù)

(1) 干涉類型： CCI 干涉，泰勒霍普森磚利相干相關(guān)算法

(2) 測(cè)量量程： 2.2mm(標(biāo)準(zhǔn)), >10mm是采用數(shù)據(jù)拼接

(3) 分辨率： 0.1 A

(4) RMS重復(fù)性： <0.02nm

(5)垂直掃描速度： 7 um/s

(6) 測(cè)量點(diǎn)數(shù)： 1 1024 x 1024 點(diǎn)陣

(7) X Y 軸單次測(cè)量范圍： 0.36 – 7.2 mm

(8) X Y 軸分辨率： 0.4-0.6um（

(9) 臺(tái)階高度的重復(fù)性： >0.1 %

(10)系統(tǒng)噪音： <0.08nm

(11)測(cè)量時(shí)間：典型樣品5-20秒

(12) 被測(cè)件的反射率： 0.3 –100%

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