Verifire? MST激光干涉儀提供了一個(gè)****的嶄新的測(cè)量方式和能力，傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測(cè)量?jī)蓚€(gè)面的波前變化，也就是說(shuō)測(cè)量一個(gè) 由兩個(gè)面所形成的腔。但是，如果所測(cè)量的是一個(gè)沒(méi)有經(jīng)過(guò)鍍膜的平行平板，則就會(huì)產(chǎn)生兩個(gè)疊加的干涉條紋（三個(gè)面的腔所形成），這樣就會(huì)干擾標(biāo)準(zhǔn)的位相干涉測(cè)量分析。現(xiàn)在，ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀解決了這一個(gè)問(wèn)題，通過(guò)波長(zhǎng)調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進(jìn)行三個(gè)甚至四個(gè)平行面的測(cè)量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨(dú)顯示你所需要的面。

三平面干涉測(cè)量

激光干涉儀可以在你的測(cè)量中，只要一次數(shù)據(jù)采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同時(shí)還能得到平行平板的光學(xué)厚度：

? 前表面形貌圖

? 光學(xué)厚度變化

? 物理厚度變化和后表面形變

四表面干涉測(cè)量

這一技術(shù)能夠通過(guò)兩次數(shù)據(jù)采集得到下列結(jié)果：

? 前表面和后表面的形貌圖

? 物理厚度變化

? 光學(xué)厚度變化

? 折射率變化
- 非線性材料均勻性
- 線性材料均勻性

多表面樣品測(cè)量快速、簡(jiǎn)單和質(zhì)量提升

同時(shí)測(cè)量表面形變和光學(xué)厚度變化

平行平板兩側(cè)測(cè)量就可以得到其均勻性：

? 不需要涂油就可以進(jìn)行**、快速測(cè)量

? 兩次測(cè)量不需要進(jìn)行調(diào)整

新型的線性材料均勻性測(cè)量

快速測(cè)量，只需要幾分鐘而不是幾個(gè)小時(shí)