產品詳情
簡單介紹：
TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI（磚利技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測分析并生成統(tǒng)計報告
詳情介紹：
英國TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀： CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI（磚利技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測分析并生成統(tǒng)計報告；
英國TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀：
1. 減震基座及立柱：
鑄鋁基座：結合氣浮減震,提高測量的穩(wěn)定性和重復精度
鋼結構立柱：提高測量回路的堅固性和穩(wěn)定性,降低外部震動影響
2. 系統(tǒng)參數(shù)
(1) 干涉類型 ： CCI 干涉，泰勒霍普森磚利相干相關算法
(2) 測量量程： 2.2mm(標準), >10mm是采用數(shù)據拼接
(3) 分辨率： 0.1 A
(4) RMS重復性： <0.02nm
(5)垂直掃描速度： 7 um/s
(6) 測量點數(shù)： 1 1024 x 1024 點陣
(7) X Y 軸單次測量范圍： 0.36 – 7.2 mm
(8) X Y 軸分辨率： 0.4-0.6um（
(9) 臺階高度的重復性： >0.1 %
(10)系統(tǒng)噪音： <0.08nm
(11)測量時間： 典型樣品5-20秒
(12) 被測件的反射率： 0.3 –100%
