MEMS和納米技術(shù)

微型機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）如今用于許多應(yīng)用領(lǐng)域，其中包括壓力和加速度傳感器、微晶鏡片顯示裝置和微型流體泵。MEMS裝置充分利用集成電路行業(yè)所使用的制造技術(shù)，來創(chuàng)建諸如齒輪、隔膜和結(jié)合梁之類的機(jī)械構(gòu)件。準(zhǔn)確測量所有這些構(gòu)件對(duì)于滿足低成本高質(zhì)量的MEMS裝置的批量生產(chǎn)要求至關(guān)重要。

計(jì)量

粗糙度
通過準(zhǔn)確測量MEMS裝置內(nèi)的粗糙度，可以控制表面的相互作用-無論這些相互作用是微型齒輪系統(tǒng)中固體與固體之間的相互作用，還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。

臺(tái)階高度
監(jiān)控MEMS裝置的臺(tái)階高度是一項(xiàng)重要的性能指標(biāo)。臺(tái)階高度與橫向尺寸信息一起可以提供有效的質(zhì)量近似值，此近似值可影響裝置中單個(gè)元件的基本振蕩頻率。

橫向尺寸
在對(duì)微型齒輪和流體系統(tǒng)進(jìn)行定性時(shí)，橫向尺寸特別重要。對(duì)體積和表面積以及諸如梁寬之類的重要尺寸進(jìn)行準(zhǔn)確測量，有助于控制*終裝置的性能。