NewView? 9000 Series3D光學輪廓儀
主要特點:
?高靈敏度1.9 MP傳感器
?快速非接觸式測量
?**的可視化3D表面
?亞埃級精度
?超精密&計量能力
?增強光學成像
?自動零件定位
NewView? 9000 3D光學輪廓儀提供了強大、多功能的非接觸式光學表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。
ZYGO相干掃描干涉技術(CSI)是系統(tǒng)的核心技術,在所有放大倍數下實現亞納米的精度,并且能夠快速準確的測試各種樣品表面,為客戶提供高投資回報率的體驗。
性能,價值和多樣性
靈活性是ZYGO NewView產品的標志。NewView 9000光學輪廓儀提供多樣化的應用,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜,臺階高度和更多應用。
所有NewView 9000輪廓儀都配備一個3位變焦塔臺,可以為系統(tǒng)自動切換不同倍率的分立變焦。樣品臺可選配手動型或全自動編碼型。
所有NewView 9000輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測量,易于使用和快速測量,價格吸引人,在通用性和應用價值方面使其成為3D光學輪廓儀的理想選擇。
以下差異化特性實現用戶計量更好、更快和更可靠:
? 大面積1.9 MP傳感器:高靈敏度,在單次測量中獲取更多的信息
? 高速測量:只需幾秒時間,優(yōu)化的測試能力和程序控制
? 自動零件聚焦和定位:減少操作員測試差異,提高培訓和測試效率
? 重復性特征:優(yōu)異的測量精度和可重復性,為高要求的生產應用提供服務
? 抗震測量:SureScan?抗震技術和集成式抗震平臺使系統(tǒng)在震動環(huán)境下也可實現高精度計量
? SmartPSI?技術:對超光滑表面進行快速分析測量
? 2D和3D的相關性:測量結果遵循ISO 25178和ISO 4287標準。
? Mx?軟件:實現儀器控制、分析和測量自動化
先進的分析&控制軟件
NewView9000光學輪廓儀系統(tǒng)
NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx?軟件,支持完整系統(tǒng)控制和數據分析,包括豐富的交互式3D繪圖,量化的形貌信息,直觀的測量導航以及內置的SPC統(tǒng)計,質量控制圖,通過/失敗限制設置。
? 交互式3D繪圖 –縮放,平移,旋轉,并實時更新結果。
? 靈活分析 –廣泛的定量分析結果,包括數據視圖和過濾器。
? 直觀的用戶界面 –易于學習和使用的流程界面設計。
? 內置SPC分析工具 –跟蹤結果,監(jiān)控合格/不合格的標準,跟蹤處理數據。
還有滿足特殊應用需求的應用程序模塊,如透明薄膜的樣品測量,2D圖像分析等。
靈活的配置
開放的工作區(qū)域使視野更清晰操作更便捷
NewView 9000輪廓儀的工作區(qū)域功能開放,界面條理清晰,使測量設置和轉換簡單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺,從手動型到全自動型,150毫米XY平移和4度俯仰傾斜??蛇x集成式的抗震平臺,緊湊的尺寸,使它非常適合于臺式安裝,結合可選的工作臺使其成為理想的生產型測試系統(tǒng)。