大口徑激光干涉儀

ZYGO大口徑激光干涉儀系統(tǒng)是雙通道測(cè)量系統(tǒng)，小口徑4"測(cè)量通道和大口徑測(cè)量通道均具有多種高精度測(cè)量模式，如相位調(diào)制、波長(zhǎng)調(diào)制、動(dòng)態(tài)測(cè)量等。大口徑激光干涉儀從常規(guī)的4英寸口徑拓展到12英寸、18英寸、24英寸、32英寸和36英寸。大口徑激光干涉儀包括

?激光干涉儀主機(jī)(GPI? XP/D, VeriFire? XP/D, PE, AT+, MST或波長(zhǎng)調(diào)制主機(jī))

? MUX分光器（光束轉(zhuǎn)換器）

?擴(kuò)束器（12英寸、18英寸、24英寸、32英寸、36英寸可選）

?機(jī)械相位測(cè)量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長(zhǎng)調(diào)制測(cè)量技術(shù)

?參考光束-透射平板和參考平板是光學(xué)系統(tǒng)必需的附件

?調(diào)整架-用于調(diào)整參考光束和測(cè)試光束的位置

大口徑激光干涉儀系統(tǒng)組件可以與干涉儀主機(jī)分開購(gòu)買，如果您需要系統(tǒng)測(cè)量和配置方面的具體信息請(qǐng)聯(lián)系我們。